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기록
一种柔性二维光电器件及其制备方法
발명유효
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
吕斌; 盛启迪; 荆欣瑶; 徐晓慧; 高凡; 邓娟; 鄢波
IPC 분류
H10F 30/28 (2025.01)H10F 77/20 (2025.01)H10F 71/00 (2025.01)
一种柔性二维光电器件,包括PET柔性基底以及设置于所述PET基底上的银电极,所述银电极具有预定间隙,覆盖所述电极间隙的InSe/WS异质结结构。以及提供一种柔性二维光电器件的制备方法,包括以下步骤:S1、柔性基底预处理与电极制备:在聚对苯二甲酸乙二醇酯PET柔性基底上,采用掩模版辅助热蒸发技术沉积银电极,形成具有预定间隙的电极结构;S2、异质结组装:在所述电极间隙区域,通过室温干转移技术依次堆叠InSe层与WS层,使二者重叠形成异质结区,所述异质结区覆盖所述电极间隙。本发明规避异质结热损伤、宽光谱响应,消除溶剂诱导界面缺陷,具备优异量产适配性。