太阳能电池及其制备方法

本公开提供太阳能电池及其制备方法，制备方法包括：通过高密度等离子体增强化学气相沉积形成隧穿氧化层和微晶硅氧缓冲层。本公开的微晶硅氧缓冲层的存在，极大降低了隧穿氧化层与硅衬底界面处的悬挂键，降低了界面态密度，减少了复合中心。另外，通过采用高密度等离子体增强化学气相沉积，等离子基元动能小，有利于形成高性能的钝化接触，形成的隧穿氧化层和微晶硅氧缓冲层更加致密，有利于与金属形成良好接触，降低载流子传输损失。