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기록
一种CdHgTe量子点电子传输层的HgTe量子点红外光电探测器及制备方法
발명유효
10청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
王毓德; 王哲哲; 唐利斌; 袁绍瑞; 杨丽清; 姚波
IPC 분류
H10F 71/00 (2025.01)H10F 77/14 (2025.01)H10F 30/222 (2025.01)
本发明公开了一种CdHgTe量子点电子传输层的HgTe量子点红外光电探测器及制备方法,属于光电探测技术领域。本发明先制备镉前驱体溶液与碲前驱体溶液,将二者混合配制碲化镉量子点溶液,经旋涂成膜后,用卤化汞的甲醇溶液浸润及EDT异丙醇溶液处理,得到CdHgTe量子点薄膜;该薄膜作为电子传输层,与衬底、底电极、NiO空穴传输层、HgTe量子点光敏层、透明顶电极构成探测器。探测器制备依次完成衬底清洗、底电极、空穴传输层、光敏层、电子传输层及透明顶电极制备。本发明制备的薄膜均匀致密,探测器对可见‑短波红外光响应优异,暗电流低、开关比高,且工艺简单、成本低,易于大规模制备,具有开发红外焦平面成像器件的潜质。