一种氮化物外延片及其制备方法和应用

本发明提供一种氮化物外延片及其制备方法和应用。该方法包括：在衬底上依次制备N型氮化物层与有源层；在通入包含活性元素的表面活性剂的条件下，在有源层上生长p型氮化物前层；p型氮化物前层包含不同的活性元素、第一及第二掺杂元素；在停止通入表面活性剂的条件下，在p型氮化物前层上沉积包含第一、第二掺杂元素的原子沉积层；在原子沉积层上生长具有第一掺杂元素的p型氮化物后层；进行热处理，使p型氮化物前层中的活性元素解吸附，并使原子沉积层中的第一、第二掺杂元素分别向p型氮化物前层、后层内迁移。本发明利用活性元素的解吸附和原子沉积层的扩散，提高p型氮化物层的空穴浓度，提高氮化物外延片的亮度，降低工作电压与droop效应。