一种图像传感器的离子注入工艺

本发明公开了一种图像传感器的离子注入工艺，包括：提供一离子注入机台；所述离子注入机台连续运行第一时间的第n离子注入工序，所述n取正整数；基于所述第一时间的第n离子注入工序，所述离子注入机台自动切源，连续运行第二时间的第n+1离子注入工序；所述第n离子注入工序、第n+1离子注入工序分别独立地选自P型离子注入工序、N型离子注入工序或D型离子注入工序中的任意一种；所述第n离子注入工序不同于所述第n+1离子注入工序；所述P型离子注入工序的离子束包含二氟化硼和/或硼，所述N型离子注入工序的离子束包含砷和/或磷，所述D型离子注入工序的离子束包含铟。通过上述工艺，本发明实现了图像传感器生产效率以及低亮白点性能的提高。