一种刻蚀精度高的刻蚀机

本发明公开了一种刻蚀精度高的刻蚀机，涉及刻蚀技术领域，包括安装机构，所述安装机构包括安装机架，所述安装机架内腔的下端设置下端安装腔，所述下端安装腔的上方设置有刻蚀腔，所述刻蚀腔的上方设置有上端安装腔，所述安装机架的正面设置有控制面板。本发明通过自适应晶圆夹持机构与自适应刻蚀气体输送机构的设置，自适应晶圆夹持机构通过激光位移传感器实时捕捉晶圆翘曲度与厚度，驱动顶针针对性升降，凸起区域顶推、凹陷区域收缩，配合分段式真空吸附与弹性压环下压，形成动态贴合夹持，避免传统单一真空吸附导致的晶圆悬空，大幅提升晶圆与吸附台的贴合度。