一种硅片清洗提篮及采用该硅片清洗提篮的硅片清洗机构

本发明公开了一种硅片清洗提篮及采用该硅片清洗提篮的硅片清洗机构，涉及硅片清洗技术领域；硅片清洗提篮的花篮连接板顶面上横向排列有若干导向框；硅片顶升杆穿过各导向框的竖向开口；花篮连接板上设有若干花篮插孔，硅片顶升杆底面上设有若干支撑柱。硅片清洗机构包括硅片清洗提篮、两横杆、横杆升降抖动机构、升降气缸、横导轨、若干清洗槽，两横杆与提篮本体相连；横导轨上设有滑动座，横导轨上设有横齿条，滑动座上设有滑动座驱动电机，滑动座驱动电机的输出轴上设有齿轮，所述齿轮与横齿条啮合；滑动座上连接有升降气缸，升降气缸与横杆升降抖动机构相连；各清洗槽位于横导轨的正下方。本发明装置具有清洗高效的特点。