一种湿法刻蚀设备换酸控制系统及方法

本发明提供一种湿法刻蚀设备换酸控制系统及方法，所述系统包括：厚度测量系统，用于测量每片晶圆刻蚀之前的厚度与刻蚀之后的厚度；失效侦测控制系统，用于计算每片晶圆刻蚀前后的厚度差值，并根据厚度差值与晶圆进行湿法刻蚀的工艺时间得到每片晶圆的实际刻蚀速率，将实际刻蚀速率与设定刻蚀速率进行比较以确定是否触发换酸。本发明基于对每片晶圆的实际刻蚀能力进行换酸管控，能够防止湿法刻蚀片数过多导致晶圆上出现缺陷，同时又防止湿法刻蚀片数过少造成酸的浪费，提高了酸的利用率，降低了成本。另外，通过监控刻蚀速率来触发换酸，并无需设置life count，从而避免工程师在针对不同产品的life count切换中由于设置错误导致的操作失误。