太阳能电池膜层的厚度在线监控方法及系统

本发明提供了一种太阳能电池膜层的厚度在线监控方法及系统，方法包括：将光束垂直照射到太阳能电池膜层上，将所述光束的反射光信号分别发送到光谱反射仪和激光干涉仪中；通过所述光谱反射仪分析出所述反射光信号中的光程差，通过所述激光干涉仪分析出所述反射光信号中的干涉相位差；根据所述光程差、所述干涉相位差和太阳能电池膜层的第一折射率计算出所述太阳能电池膜层的厚度。本申请通过光学检测实现太阳能电池膜层参数的在线监控，避免传统离线检测的滞后性及人工干预导致的污染；其次，在扩散炉出口集成了光谱反射仪和激光干涉仪的双传感器系统，计算的厚度可达到纳米级精度。