一种电池片生产用掩模板组合式石墨舟

本发明公开了一种电池片生产用掩模板组合式石墨舟，涉及硅片镀膜技术领域，包括多个并列组合的石墨舟片和开设于石墨舟片上的硅片附着区，还包括一对间距调整机构，其安装于石墨舟片两端，一对所述间距调整机构之间安装有分别位于所述石墨舟片两面的掩模板，所述掩模板上形成有与硅片附着区相对应的图案化镂空区域，所述掩模板面向石墨舟片的一面固定连接有耐热橡胶绒垫，所述硅片附着区周围设置多个弹性卡装件，其外部转动安装有卡点固定环。本发明中掩模板上的耐热橡胶绒垫与硅片接触，既固定硅片防止与掩模板发生错位，也使源材料气体仅接触到掩模板图案化镂空区域裸露的硅片表面，而接触不到图案化镂空区域外被耐热橡胶绒垫掩盖的硅片表面。