晶片搬运系统

本发明提供一种晶片搬运系统(100、200)，其包含：至少一个电源单元，其用于为所述晶片搬运系统(100、200)供电；至少一个定子墙(101、201)，其包含多个相邻线圈；至少一个载体(102、202)，其用于传送和搬运至少一个晶片；以及控制单元，其连接到所述定子墙(101、201)，用于控制所述载体(102、202)的移动，其中所述定子墙(101、201)中的所述相邻线圈被交替供电和断电以产生使所述载体(102、202)横跨所述定子墙移动的磁场，其特征在于，所述载体(102、202)被配置为用于沿着所述定子墙(101、201)的表面做受控运动，同时与所述定子墙(101、201)成某一角度地固持所述晶片。