一种基于晶圆盒存储设备的转运晶圆控制方法及系统

本申请提出一种基于晶圆盒存储设备的转运晶圆控制方法及系统，属于软件控制领域，通过上位机软件执行多种判断条件，机械手以及目标工位执行空间位置计算，同时上位机软件保证时间检测，构建了一种复杂的转运晶圆控制方法，避免了仅仅依靠时间来控制无法在复杂的转运控制中流畅地完成各种动作，容易出现碰撞或者重复操作的问题，本申请的方法提高了转运晶圆盒的效率，同时也能保证晶圆控制的实时性。