一种长行程自带定位功能的高精度晶圆上料机械手

本发明公开了一种长行程自带定位功能的高精度晶圆上料机械手，属于半导体制造自动化设备技术领域，为了解决只能单一地对晶圆进行取放，当遇到残次的晶圆时无法自动分离处理，需要单独的设备进行检测分类处理，加大了工作的时间以及成本的问题，发明包括固定架和安装在固定架表面的安装板，本发明能够实现对残次品晶圆片的自动检测以及下料，进而在装置取放料的同时同步实现对晶圆片的分类处理，避免良品和残次品混在一起而需要其他设备二次筛查的问题，有利于提高整体的生产水平以及效率，同时减少外设检测设备处理的成本，在残次品晶圆片推动下料后，能够使得安装机构的定位处重新上移，来进行下次的取放处理，保证工作的连续性。