一种晶圆环顶升锁止机构

本发明公开了一种晶圆环顶升锁止机构，旨在提供一种结构简单，在集成电路制造过程中通过多组摆臂同步对晶圆环底部进行承托能有效避免侧向夹紧导致的变形问题，且通过多组联动定位装置提高锁附精度的晶圆环顶升锁止机构。本发明包括锁止组件、调节组件以及顶升组件，锁止组件包括旋转平台、两组盖板、转动模组以及若干组锁止模块，转动模组与调节组件活动端相连接，旋转平台与转动模组转动配合，两组盖板设置在旋转平台上端面两侧，若干组锁止模块阵列设置在旋转平台上并驱动晶圆环固定端与两组盖板相配合，顶升组件设置在锁止组件下端并通过旋转平台中部的避让口与旋转平台上端面的晶圆环托盘端相配合。本发明应用于产品定位的技术领域。