高精度晶圆定位方法及装置、定位设备、系统及存储介质

本发明实施例公开了一种高精度晶圆定位方法，包括：预先通过控制平移机构驱动图像采集装置采集的图像数据标定图像机械坐标仿射矩阵M；预先控制旋转平台依次旋转至第一角度θ和第二角度θ；控制平移机构驱动图像采集装置依次对准旋转平台的标定圆，并记录θ和θ处图像采集装置的位姿数据；根据两个角度以及位姿数据计算旋转平台的旋转中心坐标；在定位时，控制晶圆随旋转平台旋转至多个预设角度处，采集各个预设角度处时的图像信息；从图像信息中提取边缘特征点的图像坐标；利用M将各个图像坐标转换为绝对坐标；对绝对坐标进行逆旋转计算，再通过圆拟合计算目标晶圆的中心坐标；根据旋转中心坐标及晶圆的中心坐标的差值得到绝对偏差。