温控基座以及半导体设备

一种温控基座以及半导体设备，温控基座中的所述温控结构与所述温控盘热性耦合，用于对所述温控盘进行升温、降温或者恒温控制，温控结构与温控盘之间进行热性耦合，使得温控盘具有双向温度调节能力，能够对承载于其上的晶圆进行灵活的升温、降温或者恒温控制；与此同时，冷却结构与温控结构为热性耦合，用于及时转移温控结构在工作时产生的废热，达到对温控结构降温的目的，使得温控结构不仅能够向温控盘提供热量来加热，也能够从温控盘吸收热量来制冷，从而使温控基座利用单一部件就具备加热与制冷的能力。