基板处理装置和基板脱离方法

本发明提供了基板处理装置，能在基板脱离时正确判断静电卡盘对基板的吸附状态，并降低基板脱离时的破损风险。所述基板处理装置（WD）包括：静电卡盘（E），吸附并支撑基板（W）；脱离装置（F），使被静电卡盘（E）支撑的基板（W）脱离；以及控制装置（C），通过脱离装置（F）使基板（W）物理性地脱离时，对静电卡盘（E）施加脱离电压。控制装置（C）根据脱离装置（F）上施加的负荷，判断基板（W）的吸附状态。