一种用于承载晶圆的样品槽及外延基座

本申请涉及一种用于承载晶圆的样品槽及外延基座，样品槽包括：凹槽，凹槽用于承载晶圆，凹槽的底部包括晶圆支撑面，凹槽的侧壁包括围挡结构；围挡结构包括：平直围挡，与晶圆的参考边对应设置；圆弧围挡，与晶圆的圆弧部分对应设置；过渡围挡，设置在平直围挡与圆弧围挡之间，过渡围挡包括与平直围挡直接连接的阳角区域，以及与圆弧围挡直接连接的阴角区域；其中，平直围挡与过渡围挡均位于圆弧围挡所在的圆周内。通过使围挡结构包括平直围挡、圆弧围挡以及过渡围挡，过渡围挡包括阳角区域和阴角区域，并且平直围挡与过渡围挡均位于圆弧围挡所在的圆周内，减少了晶圆参考边末端等几何尖锐处对样品槽围挡的磨损，延长了外延基座的使用寿命。