一种晶圆载片台

本发明公开了一种晶圆载片台，包括微调平台，微调平台上固定安装有基准架，基准架上滑动安装有固定架，固定架内套装、且固定安装有中间衔接架，中间衔接架内套装有调节架，调节架的外壁与中间衔接架的内壁为球面配合，且中间衔接架与调节架之间设有气吸式固定结构；调节架上设有载板，载板与调节架之间设有负压吸附机构；调节架上还安装有片体吸附顶升机构，载板上开设有避让孔。实现了晶圆所处平面位置的调整，同时与光刻板保持平行状态，平行度调节快速、方便，且调节后固定可靠、稳定，为保证曝光、光刻等工艺的效果和产品的质量奠定了基础。