一种适用于大尺寸基板升降机构及吸附承载机构

本发明涉及有机发光二极管显示技术领域，本发明公开了一种适用于大尺寸基板升降机构及吸附承载机构，一种适用于大尺寸基板的升降机构，包括底座、驱动组件、基底和多孔陶瓷板；驱动组件设于底座，基底受驱动组件驱动做直线运动，且基底上开设有贯通的第一吸附孔；多孔陶瓷板固定在基底背离驱动组件的一侧，其覆盖第一吸附孔且自身孔洞与第一吸附孔连通，多孔陶瓷板的周向侧面设有覆盖涂层，涂层包覆周向侧面，使第一吸附孔形成负压时，仅多孔陶瓷板远离基底的表面产生负压。借助基底与多孔陶瓷板的配合结构，可分散吸附力与顶起力，降低半导体领域薄玻璃与机构接触区域的应力集中；同时多孔陶瓷板能提升薄玻璃基板的受热均匀性。