一种晶圆夹持机构

本发明公开了一种晶圆夹持机构，属于半导体制造装备技术领域。该晶圆夹持机构包括外部夹持机构、内部夹持机构和旋转转移晶圆机构。内部夹持机构将升降、偏转、俯仰和旋转四种运动功能集成于一体。其中，齿轮驱动电机通过齿轮齿条副驱动L形连杆轴轴向移动，再经连杆机构转换为转动轴的摆动，实现吸盘的俯仰调节；偏转电机通过同步带驱动翻转轴实现吸盘的偏转运动；旋转电机直接驱动吸盘旋转，Z轴移动模组则实现竖直方向的精确定位。外部夹持机构负责晶圆的承载与水平旋转，旋转转移机构实现晶圆在不同工位间的自动化转运。本发明解决了现有技术中功能割裂、空间利用率低及夹持稳定性不足的问题，能够同步实现晶圆的多自由度精密姿态调整。