一种用于半导体的故障检测与分类系统

本发明公开了一种用于半导体的故障检测与分类系统，涉及故障检测技术领域，通过传感器实时采集半导体工艺参数的原始数据；并将采集的原始数据按预定时间段切分为多个子步骤的数据段；根据各数据段的分布特征数据分布特征指数；根据分布特征指数，择对应的特征提取算法对数据段进行特征提取；从数将提取的特征数据输入至预设质检模型对半导体产品进行质检，输出晶圆的故障类型，这样一来，能够对数据的复杂分布进行判断，还动态调整特征提取算法以适应不同数据的分布特点，从而有效提取数据中潜在的重要特征，确保了故障检测的精度，尤其在复杂工艺环境中，减少误判或漏判的概率，减少对半导体生产的质量和效率的影响。