一种多功能晶圆检测设备

本发明公开了一种多功能晶圆检测设备，该设备包括边缘检测模组、机器人、两套并行设置的宏观检测单元以及微观检组件。机器人设于边缘检测模组侧方以转移晶圆。每套宏观检测单元均包含中转机构、旋转转移晶圆机构、外部夹持机构、内部夹持机构和拍照模组。其中，中转机构用于接收来自机器人的晶圆；旋转转移晶圆机构工作范围覆盖中转机构、外部夹持机构和内部夹持机构及微观检组件，负责在其间高效转移晶圆；相邻设置的外部夹持机构与内部夹持机构可进行晶圆交接；拍照模组则对由内部夹持机构固定的晶圆进行拍摄。本发明通过优化布局与自动化流转，实现了晶圆边缘检测、宏观检测与微观检测的高效集成与连续进行，显著提升了检测效率和自动化水平。