半导体结构

一种半导体结构，包括一基板、设置于前述基板的上方的一主动装置以及一被动装置。前述主动装置设置于前述基板的第一区域中，前述被动装置设置于前述基板的第二区域中。此半导体结构还包括一遮蔽结构和一保护层。前述遮蔽结构包括一阻挡层和一顶盖层，前述阻挡层位于前述被动装置和前述主动装置的上方，而前述顶盖层位于前述阻挡层的上方。前述保护层位于前述阻挡层的下方且覆盖前述被动装置的顶面。前述阻挡层的侧壁、前述顶盖层的一底面、以及前述基板定义出一气腔。本发明使通常产生于主动装置的源极电极/漏极电极与栅极电极之间的寄生电容可以明显降低，并且可以改善主动装置的电子特性。