一种适用于基板翘曲的自适应植球治具

本发明公开了一种适用于基板翘曲的自适应植球治具，涉及基板植球技术领域，包括校正装置，用于对真空吸盘吸附的基板的位置进行校正；助焊剂蘸点装置，用于将助焊剂点涂到基板的pad上，包括设置在三轴移动装置上的PIN固定板，PIN固定板中部固定连接有储气型腔，储气型腔底部固定连接有柔性层，PIN固定板中部滑动连接有多个第一PIN，第一PIN上端贴合柔性层，储气型腔和柔性层之间形成可充放气的气腔；植球装置，用于吸附锡球并将锡球植入到基板上。本发明，通过利用柔性层+储气型腔结构实现单根PIN活动的独立化及压力动态调整使得PIN活动行程增大。