用于IPC涂层的工艺

一种喷墨打印机打印头、其元件或其他组件具有内腔，所述内腔具有保护涂层。组件的其他表面可以具有所述保护涂层。为了制备所述保护涂层，选择用于HfO(二氧化铪)膜的目标厚度，以避免形成针孔、薄斑和结节生长。使用针对所述目标厚度进行了工艺调整的原子层沉积(ALD)，将HfO膜作为保形层沉积在组件上，包括沉积在所述内腔的表面上，以形成涂覆组件。可以在HfO膜上包括不润湿涂层。