从含铝部件进行铝氟化物蚀刻

一种处理铝氟化物或铝氧氟化物的方法包括：提供含氟物质至一个或更多个部件所在的处理室中，将一个或更多个部件移出处理室，以及用蚀刻组合物清洁一个或更多个部件。该一个或更多个部件包括铝、铝合金或含铝材料。