波长扫描干涉仪设备及方法

本发明提供了一种用于确定样品表面相关信息的装置及其使用方法，该装置包括至少一个光源；一个光导向装置，用于将来自该至少一个光源的光导向样品表面的某个区域，并沿着参考路径导向参考表面，使得样品表面该区域反射的光与参考表面反射的光发生干涉，从而产生干涉图。图像记录器装置记录连续图像，每个图像代表由反射光产生的干涉图；以及一个数据处理器，用于处理图像记录器装置记录的图像，以生成样品表面至少一部分的表面轮廓和/或表面高度分布图。该装置包括一个色差物镜。