动态反光表面三维缺陷检测的系统及方法

一种检测样品表面缺陷的方法，该方法包括以下步骤：将预定图案投射到样品的至少一部分上；捕获从样品反射的图案线条；沿第一方向移动样品，并捕获沿第一方向的连续的图案线条；将捕获的图案线条组合成一个或多个二维图案，每个二维图案在第一方向和第二方向上均有延伸；以及从二维图案中沿第一方向和第二方向提取表面相位信息。