光波导制造方法

公开了一种台阶式衍射光栅及其制造方法。在基板表面上通过形成光学透射材料的多个堆叠层来分别形成多条平行光栅线。在截面中，每条光栅线具有：上层，该上层具有上表面，该上层具有第一端和第二端；底层，该底层具有：邻接基板表面的底表面以及具有第一端和第二端的上表面；上升阶梯部分，该上升阶梯部分以10度和60度之间的上升阶梯角度延伸；以及下降阶梯部分，该下降阶梯部分以上升阶梯角度和89度之间的下降阶梯角度延伸。