用于使基板对准的旋转基板支撑件

本文提供了用于使基板对准的基板支撑件的实施例。在一些实施例中，一种用于使基板对准的基板支撑件包括：底板；旋转组件，所述旋转组件包括定子和转子，所述定子耦接到所述底板，所述转子经由设置在所述定子与所述转子之间的轴承可旋转地耦接到所述定子；波纹管组件，所述波纹管组件固定到所述转子；以及杠杆，所述杠杆具有第一端部和第二端部，所述第一端部耦接到所述转子，所述第二端部被配置为耦接到致动器；以及吸盘组件，所述吸盘组件设置在所述底板顶上并且固定地耦接到所述波纹管组件，其中所述吸盘组件是相对于所述底板沿中心轴线可旋转地且轴向地移动的，并且其中所述杠杆绕所述中心轴线的旋转使所述波纹管组件和所述吸盘组件相对于所述底板旋转，以使所述基板相对于所述底板对准。