用于校准、预测及控制EUV光刻中随机缺陷的方法

接收在工件的检验区域内随机缺陷的初始发生概率。按照所述初始发生概率对所述随机缺陷的全部位置进行排序。确定累积预期缺陷计数且将所述累积预期缺陷计数正规化为总预期缺陷计数的分率。确定用于捕捉高于总随机缺陷的阈值的潜在随机缺陷的缺陷位置的数目。