具有快速磁透镜的多粒子束系统，特别是多束粒子显微镜及其用途

本案揭露了一种多粒子束系统，特别是多束粒子显微镜，其包含以下：磁透镜，其由多个个别带电粒子束通过；以及控制器，其配置成控制（特别是动态控制）磁透镜。该磁透镜包含线圈（701）、绕组主体（702）（尤其具有冷却管线配置）以及极靴。该线圈配置在该绕组主体周围，并且该绕组主体设计为中空主体，其由所述多个个别粒子束通过。该线圈（结合该绕组主体）配置在该极靴内。该极靴具有一开口，由磁透镜产生的磁场通过该开口会从该极靴出现并与多个个别粒子束交互作用以获得透镜效应。该绕组主体具有电导率且具有中断部（710），由此，该绕组主体的电导率在环绕粒子光轴的圆周方向上中断。当动态控制磁透镜时，在绕粒子光轴的绕组主体中产生的涡电流减少。因此，多粒子束系统的磁透镜能以多达1500 Hz的大带宽进行动态控制。