涂覆设备和用于操作涂覆设备的方法

本发明涉及涂覆设备和用于操作涂覆设备的方法。根据不同实施例，涂覆设备（100）可以包括：支承设备（130），支承设备提供旋转轴线（131）并且被配置为设置由支承设备（130）支撑的管状溅射靶材（10）围绕旋转轴线（131）旋转；可移动地安装的多个耦合电极（110），多个耦合电极沿旋转轴线（131）布置成行，以用于将交流电压耦合到溅射靶材（10）中；以及定位设备（120），定位设备被配置为根据表示溅射靶材（10）的几何形状的参数影响多个耦合电极（110）相对于彼此和/或相对于旋转轴线（131）的位置。