等离子体处理装置

提供了测量腔室的电特性的技术。提供了等离子体处理装置。等离子体处理装置具备：腔室；射频电源；测量机器，周期性地或连续地确定腔室与射频电源之间的节点处的射频反射特性；存储部，保存静态特性；和控制部，执行等离子体点火判定序列，等离子体点火判定序列包括：对周期性地或连续地确定的射频反射特性与保存在存储部中的静态特性进行比较，在射频反射特性与静态特性之间的差值为阈值以下的情况下，判定为在腔室内未点火等离子体；和在射频反射特性与静态特性之间的差值大于阈值的情况下，判定为在腔室内点火等离子体。静态特性是在将低功率射频信号从射频电源供给至腔室时的节点处的射频反射特性，低功率射频信号具有在腔室内未点火等离子体程度的功率。