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기록
制造用于将压电层转移到支撑衬底上的供体衬底的方法
발명유효
19청구항 · 15 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
C·查理-阿尔弗雷德; R·科勒米洛内; M·韦伊; S·蒂埃弗里; R·介朗
IPC 분류
H10N 30/072 (2006.01)H10N 30/073 (2006.01)H03H 3/007 (2006.01)
本发明涉及一种用于制造供体衬底（1）的方法，所述供体衬底（1）用于将压电层转移到支撑衬底上，所述方法包括以下连续步骤：·（a）提供压电衬底（5）和操作衬底（2）；·（b）在操作衬底（2）或压电衬底（5）的主表面上沉积光聚合粘合层（6）；·（c）通过粘合层（6）使压电衬底（5）与操作衬底（2）结合以形成异质结构（7）；·（d）使用光通量照射异质结构（7），从而使粘合层（6）聚合；·（e）对经照射的异质结构（7）进行热处理；以及·（f）从压电衬底（5）与操作衬底（2）相对的面对压电衬底（5）进行减薄，从而形成供体衬底（1）。