一种重结晶碳化硅多级研磨方法

本发明采用三级研磨，将碳化硅颗粒、水、分散剂在配料仓中搅拌混合，获取碳化硅浆料；将碳化硅浆料导入一级研磨罐进行研磨，经沉降，获得沉降初级碳化硅浆料，所述沉降初级碳化硅粒径为4 um至6 um；将沉降初级碳化硅浆料导入二级研磨罐进行研磨，经沉降，获得沉降次级碳化硅浆料，所述沉降次级碳化硅粒径为2 um至3 um；将沉降次级碳化硅浆料导入三级研磨罐进行研磨，经沉降，获得重结晶碳化硅浆料，所述重结晶碳化硅浆料为1.5 um至2.2 um，其中，每级研磨均包括研磨罐及沉降塔，每个前一级的研磨机构负责控制后一级研磨碳化硅粒径的入料，从而保证整个研磨流程处于稳定状态，最终收率均达到92%至95%，获得高品质的重结晶碳化硅，研磨效率大大提高。