一种红外飞秒与红外纳秒激光组合加工的系统及仿生加工方法

本发明提出一种红外飞秒与红外纳秒激光组合加工的系统及仿生加工方法，涉及激光表面加工技术领域。该方法通过纳秒激光实现快速粗加工与预结构构建，再利用飞秒激光进行精细修饰与微纳结构调控，二者协同作用可显著提升加工效率与结构质量，同时降低热影响，实现对SiC表面的高精度、低损伤加工，为构建具有特殊功能性的表面结构提供了技术支撑。