反射率谱获取方法、终点检测方法及装置、抛光装置

本发明是关于一种反射率谱获取方法、终点检测方法及装置、抛光装置，其中，反射率谱获取方法包括：获取表征不同光强光源条件下光强测量值波动性的影响因素分布曲线，基于影响因素分布曲线，确定光源因素占主导时对应的临界光强值，对源光束按照预设比例β进行分束，以得到所需的测量光束和参考光束，测量光束入射至样品后形成反射光束。基于参考光强对反射光强进行校准，以生成目标反射光强。基于目标反射光强计算样品的反射率谱。其中，测量光束和参考光束具有相同的光强波动性，进而在基于参考光强对反射光强进行校准时，有效的提高了反射率谱测量的准确性与稳定性。