一种用于硅片抛光机的自动上下料清洗甩干设备

本发明涉及硅片精密机械设计与制造技术领域，公开了一种用于硅片抛光机的自动上下料清洗甩干设备。本发明中的一种用于硅片抛光机的自动上下料清洗甩干设备，该设备由多组单元组成，融合了晶圆装载口、专用洁净型机器人、视觉定位系统等，可实现高精度自动取、放、翻转等功能，通过将磨抛、清洗、甩干、干态出料等环节高度集成于统一机架，硅片全程在系统内自动流转，从干态进料到干态出料形成完整闭环，缩短工艺周期，消除转运污染与损伤风险。本发明实现全自动上下料，与抛光抛光设备无缝衔接，最大限度地保证抛光抛光设备的稼动率，从而提高产能，对未规划自动化的硅片制造工厂提升整体产能有重大的突破。