一种三点定位式晶圆夹持手指

本发明公开了一种三点定位式晶圆夹持手指，包括一对夹爪，一对所述夹爪上设有上夹持座和导向机构；一对所述夹爪上还分别设置有高度支撑下夹持座和水平支撑下夹持座。所述夹爪包括一体成型的连接部和安装部，所述连接部上开设有安装孔，且安装孔用于与驱动设备连接。由于常规夹持只需要三点即可保持稳定，通过设置左右不对称的下夹块，使得对晶圆进行的水平定位和高度定位均为三点式，这样设置的夹持结构成本更低。如果将其设计成与上夹块相同的对称结构，那么整个装置就需要更高的精度，会使得夹持手指的制造成本激增。并通过设置导向柱，可以有效防止夹持失败时晶圆飞出造成的影响。