形成晶圆的方法

一种形成晶圆的方法包含沿着平行于晶锭的上表面的方向切割晶锭，以形成第一晶圆，将第一晶圆的上表面及下表面分别接合至第一载板及第二载板，沿着平行于第一晶圆的上表面的方向切割第一晶圆，以形成第二晶圆，其中第二晶圆的第一者接触第一载板，而第二晶圆的第二者接触第二载板，以及从第二晶圆的第二者移除第二载板。本发明可用于解决尺寸较大的晶圆切割得较薄时，所形成的晶圆容易遭受的翘曲问题。