压差法结合矫正治具进行载板体加工的设备及方法

本申请提供一种压差法结合矫正治具进行载板体加工的设备，包括一上载板抵压装置及一下载板抵压装置，该上载板抵压装置上设置一第一加热器、一第一密闭空间及一气囊，该下载板抵压装置上设一第二加热器、一第二密闭空间及一矫正治具，载板体放置于气囊与矫正治具之间，载板体处在气囊与矫正治具的工作温度及工作压力中，利用气囊和矫正治具所形成的压力差，有效抑制载板体翘曲变形，而载板体第一面模拟或实际测量可得几何曲面，矫正治具上接触面被加工成反几何曲面，从而抵消热应力，使载板体定型趋于平整。本申请还提供一种压差法结合矫正治具进行载板体加工的方法，使用所述设备对载板体加工。