多层石英玻璃热压键合装置及方法

本发明涉及玻璃键合领域，具体公开了多层石英玻璃热压键合装置及方法，包括承托加热座，所述承托加热座上设置有密封组件，所述密封组件上设置有下压组件，所述下压组件与所述密封组件之间设置有隔热组件。本发明将中心作用力与边缘作用力分离，同时巧妙利用下压作用力解决边缘弱键合的难题，能保证玻璃边缘下压力处于标准压力范围，避免造成中心区域压力高而边缘区域压力偏低的现象，使得玻璃表面充分贴合，且保证边缘接触热阻减小，使得玻璃边缘温度更加接近键合温度，减小温度补偿值，节省能源，利于边缘原子扩散，形成压力正常、温度更加接近及键合顺畅的良性循环，大大提高键合效果，提高了产品的良率。