半导体行为经调整的MEMS

一种MEMS，包括可移动元件和驱动装置，该驱动装置包括可移动元件的第一掺杂半导体电极和第二掺杂半导体电极，该第二掺杂半导体电极被布置成与该第一半导体电极相对并且被配置为在第一半导体电极与第二半导体电极之间生成静电力，同时在第一半导体电极中生成第一载流子变化区并且在第二半导体电极中生成第二载流子变化区。