一种纳米氮化镓粉体材料的制备方法及装置

本申请提供了一种纳米氮化镓粉体材料的制备方法及装置，属于纳米金属氮化物材料领域。该方法包括：将金属镓、表面活性剂及水进行水热反应，得到反应产物；将反应产物进行固液分离及干燥，得到纳米羟基氧化镓前驱体；在管式炉中氮气氛围下，将纳米羟基氧化镓前驱体进行低温预烧处理，得到预烧中间体；将氮气氛围切换为氨气氛围，将预烧中间体进行高温氮化处理，得到氮化镓粉体；对氮化镓粉体进行退火处理，以去除残留杂质、降低缺陷密度及改善粉体分散性。本申请以金属镓为原料，采用两步法短流程工艺制备纳米结构氮化镓粉体，核心优势为“表面活性剂辅助水热法纳米羟基氧化镓前驱体形貌控制”与“分级多段煅烧退火处理”两项技术的协同作用。