石英玻璃沉积炉及其炉顶喷灯组件和控制方法

本发明提出一种石英玻璃沉积炉及其炉顶喷灯组件和控制方法。本石英玻璃沉积炉炉顶燃烧器组件包括固定于炉顶本体上的直线轨道以及主喷灯，炉顶本体的底端面从其圆心向外发射的方向上固定有两根或两根以上直线轨道，每一直线轨道上均安装有相对于其可滑移的主喷灯，主喷灯用于喷射含硅物质和加热，以主喷灯中心至与炉顶本体的圆心距离为半径并以炉顶本体的圆心画圆，形成一个或两个或两个以上虚拟圆，当形成的虚拟圆数量大于或等于2时，两个或两个以上虚拟圆间隔非均匀布置以规避波纹缺陷。本石英玻璃沉积炉通过设置主喷灯相对于直线轨道可移动，可用同一尺寸炉膛制备多种尺寸的石英玻璃。同时，有利于制造出性能更好、光均更高的石英玻璃锭。