一种高密度不透明石英玻璃的制备方法

本发明涉及一种高密度不透明石英玻璃的制备方法，属石英玻璃生产技术领域。本发明是将SiO2含量＞99.99%的天然石英或石英玻璃破碎、酸洗干燥后，与氧化铪粉混合投入真空电熔炉，在温度1700—1750℃的条件下将石英砂熔化成石英玻璃热液后冷却，制得高密度不透明石英玻璃。本发明制备的不透明石英玻璃内部几乎不含任何气孔，密度可达到2.20~2.21g/cm3的石英玻璃密度理论值；其5mm切割薄片的全光谱透过率＜1%；解决现有不透明石英玻璃生产方法存有的气孔含量过高，所导致半导体器件在生产过程中被污染的问题，特别适合半导体生产使用的需要。