高深宽比无锚柱石英微半球谐振子成型方法及其真空吸附工装

一种高深宽比无锚柱石英微半球谐振子成型方法及其真空吸附工装，该方法旨在解决传统热成型技术难以制备口径小、深度大、且无结构缺陷的微半球谐振子的难题，将石英玻璃预制坯固定于内部设有真空腔室的真空吸附工装上，该工装的成型为预设曲率高陡度内凹光学曲面；启动工装旋转并开启真空系统，利用火焰喷枪加热；当石英玻璃软化后，依靠其自身表面张力流变，同时由真空吸附力提供吸附载荷，共同促使材料均匀地流向所述成型曲面，从而成型出壁厚均匀、无中心锚柱的高深宽比微半球预制体。本发明所制备的谐振子具有轴对称性好、机械品质因数高、内在应力低的显著优势，特别适用于高性能惯性导航与精密传感领域。