一种高致密度碳化钽涂层的制备方法

本发明提供了一种高致密度碳化钽涂层的制备方法，属于半导体加工技术领域。本发明通过在TaC粉末和低熔点含钽粉末中加入柠檬酸铵温、阿拉伯胶以及水后混合均匀后利用喷雾造粒机造粒得到TaC粉末表面吸附低熔点的含钽的初级混合粉，并在烧结后得到的TaC粉末表面包裹低熔点含钽粉末的次级混合粉末破碎、筛分后与有机粘结剂和水混合后涂覆于石墨基材表面，经烧结后得到碳化钽预涂层，不仅实现了液相辅助TaC粉末烧结，还依靠喷雾造粒和烧结的方式使TaC粉末周围包裹一层低熔点的含钽粉末，缓解烧结过程中晶界之间产生的裂纹孔隙，利于涂层与基材之间的结合，并通过液体填充到TaC晶界处的裂纹孔隙中，使碳化钽预涂层的致密性更高，满足高品质SiC单晶的生长需求。